Open Access
Numéro
EPJ Web Conf.
Volume 157, 2017
22 Topical Conference on Radio-Frequency Power in Plasmas
Numéro d'article 03049
Nombre de pages 4
Section Standard Papers
DOI https://doi.org/10.1051/epjconf/201715703049
Publié en ligne 23 octobre 2017
  1. O. Sakai, K. Tachibana, Plasma Sources Sci. Techn., 21(1) (2012) [Google Scholar]
  2. J. Lo, J.Sokoloff et al., Applied Physics Letters, 96 (2010) [Google Scholar]
  3. V.I. Arkhipenko et al., Journal of applied physics, 116(12) (2014) [Google Scholar]
  4. H.R. Griem, Spectral lines broadening (Academic Press, New York and London, 1974). [Google Scholar]
  5. Ansoft HFSS, http://www.ansys.com/Products/Simulation+Technology/Electromagnetics/High-Performance+Electronic+Design/ANSYS+HFSS [Google Scholar]