RF plasma generation in the chamber with the conducting walls Andey Gavrikov, Sergey Kuzmichev, Gennadiy Lizyakin, Valentin Smirnov, Rinat Timirkhanov, Ravil Usmanov et Nazar Vorona EPJ Web Conf., 157 (2017) 03062 Publié en ligne : 23 octobre 2017 DOI: 10.1051/epjconf/201715703062